【本書編集方針】
本書は半導体製造に用いられる各種材料の製造、精製法を含むデータを網羅的に編集するものであり、出典については下記論文誌、コンファランスのほか可能な限り幅広く配慮した。
- 論文誌
- J.Electchem. Soc./IEEE Electron Devices/IEEE Solid State
Circuits/Solid State Electronics/J.Appl.Phys./Appl.Phys.Letts/Japan
J.Appl.Phys./電気通信学会本誌/電気通信学会論文誌/電気化学協会誌/化学関係ハンドブック/金属関係ハンドブック/化学関係論文/金属関係論文/各社カタログ、データ集/その他
- コンファランス
- Electrochem.Soc.関連のコンファランスのProceeding/IEDEM/Kodak
Seminar/応用物理学会年会/電子通信学会年会/集積回路シンポジウム/半導体専門講習会/その他
各執筆者は手持ちのデータのみにとどめず、上記のものに関し十分調査の上、執筆内容に盛り込んである。
なお出典については、1977年以降のものを中心に記述し、それ以前のものは文献リストとして紹介した。
記述内容(FORMAT)は以下の通りである。
- 材料に関する化学的、物理的性質、純度等
- 製造、精製方法
- 集積回路への応用例、実用データ
- デバイスに使用する場合の問題点、要求事項
- 製造メーカ(競合・参入メーカ列記)
【発刊に向けて】
集積回路は年々止どまることを知らず、予想以上の急速な進歩をみせています。
この進歩はデバイス設計とともに、デバイス構造・プロセス技術・プロセス材料の進歩に負うところが大であります。
これらの中でもデバイスおよびプロセス技術に関しては、毎年数多くの研究論文が発表されており、この分野の業務に携わっている人達は、これら論文、学会などからある程度その技術動向を知り、開発を進めることができます。
一方、デバイス作製に用いられているガス・電極材料・化学薬品・組立材料等の各種材料も、新材料の開発、純度の向上など年々技術的な進歩がはかられており、デバイスの性能、歩留り、信頼性の向上をはかる上で、材料技術もまた重要であることが知られています。
しかし、このような材料に関する技術論文はほとんど発表されていないため、前記のデバイス、プロセスのように技術動向、問題点などが明らかにされず、各社が独自の判断のもとに材料を選択し、使用しているというのが実情です。
各種ガス、化学薬品をはじめ、フォトマスク、レジスト等のプロセスに用いられる材料に関し、十分な知識を有し、この上にたって材料開発、選択を行うことにより、デバイス作製技術をさらに発展させることが出来ると思われます。
しかし、今までこの分野に関するデータ集はほとんどありませんでした。
本書は、これらの点を明らかにするための、半導体デバイス作製に用いるプロセス材料のハンドブックであります。
各分野の専門家によって広範なるデータが集められるとともに、研究論文、データハンドブック、各社のデータ集、営業資料等も精選しまとめてあります。
したがって、本書に詳細に収録された様々なるデータは半導体デバイス関連産業に関わる多くの人達にとって有用なるものであると確信いたします。
編集委員 原 徹/柏木 正弘
■ 執筆者一覧(所属・肩書き等は発刊当時のものです) |
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■ 編集委員 |
原 徹 | | 法政大学 工学部電気工学科 教授 |
柏木 正弘 | | 東京芝浦電気(株)総合研究所 集積回路研究所 主任研究員 |
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■ 執筆者 |
原 徹 | | 法政大学 工学部電気工学科 教授 |
菊池 光 | | 信越半導体(株)半導体研究所物性研究室 研究員 |
星 金治 | | ソニー(株)半導体事業本部 副長兼技術部長 |
伊沢 伸幸 | | ソニー(株)半導体事業本部 結晶技術課 課長 |
鈴木 利彦 | | ソニー(株)半導体事業本部 結晶技術課 課長補佐 |
田中 明和 | | 住友金属(株)電子材料研究所 研究員 |
岩渕 真三郎 | | 東京芝浦電気(株)半導体生産技術部 材料技術担当 主務 |
渡辺 正幸 | | 東京芝浦電気(株)電子部品研究所 主任研究員 |
吉井 俊夫 | | 東京芝浦電気(株)集積回路研究所 研究主務 |
原田 光 | | 日本酸素(株)技術本部分析センター 所長 |
吉見 武夫 | | (株)日立製作所 武蔵工場プロセス技術開発部 主任技師 |
飯田 進也 | | 国際電気(株)電子機械事業部 副技師長 |
堤内 学 | | (株)コスモ・エイテイ 技術顧問 |
山中 綾夫 | | (株)山中化学工業所 代表取締役 |
団野 隆夫 | | (株)山中化学工業所 取締役工場長 |
小原 武彦 | | 住友化学工業(株)新規事業部開発室 部長代理 |
高原 邦好 | | 日本ミリポアリミテッド・インダストリー 技術営業部 部長 |
宝地戸 雄幸 | | (株)高純度化学研究所 代表取締役社長 |
山崎 照彦 | | 三菱電機(株)LSI研究所プロセス技術部 グループマネージャー |
金滝 行道 | | 三菱電機(株)北伊丹製作所 集積回路第3製造部 IC製造課 |
金木 暁 | | 大日本印刷(株)ミクロ製品製造本部 ミクロ技術部プロセス技術第2課 課長 |
流川 治 | | (株)保谷硝子 電子事業部 長坂工場生産技術課 課長代理 |
横田 晃 | | 東京応化工業(株)相模事業所 電子材料事業部 部長 |
中村 洋一 | | 東京応化工業(株)相模事業所 電子材料事業部 |
野々垣 三郎 | | (株)日立製作所 中央研究所第1部 主管研究員 |
鈴得 求 | | 真空冶金(株)営業本部マーケティング部 部長補佐 |
福井 康夫 | | 田中電子工業(株)技術部 マネージャー |
高木 洋 | | 東レ(株)電子材料事業部 特殊フィルム販売課 |
三好 明夫 | | 住友金属鉱山(株)電子金属本部 技術部材料試験室 室長 |
浦 満 | | (株)日立製作所 日立研究所第5部 主管研究員 |
伊香 和夫 | | 日東電気工業(株)技術研究所 副主任研究員 |
福井 清悦 | | 山形日本電気(株)技術部 技術課長 |
神酒 慎一 | | 日本電気(株)第2LSI事業部 生産技術部 主任 |
野口 召三 | | 日本電気(株)第2LSI事業部 生産技術部 主任 |
鎌田 徹 | | 日本電気(株)第2LSI事業部 生産技術部 |
成田 博史 | | 日本電気(株)第2LSI事業部 生産技術部 主任 |
桜井 文雄 | | 日本電気(株)第2LSI事業部 生産技術部 |
番條 敏信 | | 三菱電機(株)北伊丹製作所 製造技術部 アセンブリ課 課長 |
中川 治 | | 三菱電機(株)北伊丹製作所 製造技術部 アセンブリ課 |
加藤 俊博 | | 東京芝浦電気(株)半導体事業部 半導体生産技術部 組立技術担当 |
野田 康昌 | | 東京芝浦電気(株)集積回路事業部 集積回路生産技術部 組立技術担当 |
杉岡 修次 | | 東京芝浦電気(株)半導体技術管理部 技術管理担当課長 |
世良 通利 | | 東京芝浦電気(株)半導体事業部 半導体生産技術部 組立技術担当 |
桜井 寿春 | | 東京芝浦電気(株)集積回路事業部 集積回路生産技術部 組立技術担当 |
中村 耕三 | | タムラ化研(株)技術部 主任 |
藤根 信彦 | | 日本電気(株)第2LSI事業部 信頼性品質管理部 信頼性技術課長 |
梶栗 一孝 | | 日本錬水(株)見積計画部 主担 |
今泉 正文 | | 栗田工業(株)超純水設計部 設計2課 |