■ 「ULSI生産技術緊急レポート」編集委員会(敬称略、役職等は発刊時のものです) |
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■ 顧問(音順) |
小宮 啓義 | | 三菱電機(株)ULSI開発研究所 所長 |
高山 洋一郎 | | 日本電気(株)半導体事業グループ 主席技師長 |
原 央 | | (株)東芝 ULSI研究所 所長 |
牧本 次生 | | (株)日立製作所 常務取締役 半導体事業部長 |
矢木 肇 | | ソニー(株)超LSI研究所 所長 |
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■ 編集幹事(音順) |
菊地 正典 | | 日本電気(株)ULSIデバイス開発研究所 シリコンプロセス統括部長 |
服部 毅 | | ソニー(株)超LSI研究所 LSI基盤技術研究部 部長 |
平山 誠 | | 三菱電機(株)ULSI開発研究所LSI開発第2部 次長 |
山本 眞一 | | (株)東芝 半導体生産技術推進センター 生産技術企画担当部長 |
吉見 武夫 | | (株)日立製作所 半導体事業部生産統括本部 副技師長 |
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■ 第2部執筆者(執筆順) |
福島 隆 | | 九州コマツ電子(株)プロセス技術部 主査 |
前田 正彦 | | 九州コマツ電子(株)プロセス技術1課 |
森田 悦郎 | | 三菱マテリアルシリコン(株)技術本部プロセス技術部 課長補佐 |
角田 成夫 | | 住友シチックス(株)シリコン研究開発センター 主任部員 |
宮内 慎 | | 住友シチックス(株)品質保証部 佐賀品質保証グループ長 |
下井 規弘 | | 東芝セラミックス(株)シリコン事業部技術部 |
栗原 誠司 | | 東芝セラミックス(株)シリコン事業部技術部 主務 |
鹿島 一日児 | | 東芝セラミックス(株)シリコン事業部技術部 主査 |
伊藤 晴夫 | | (株)日立製作所 生産技術研究所第2部 主任研究員 |
斉藤 昭男 | | (株)日立製作所 生産技術研究所第2部 研究員 |
太田 勝啓 | | (株)日立製作所 生産技術研究所第2部 研究員 |
高原 洋一 | | (株)日立製作所 生産技術研究所第2部 研究員 |
岡 斉 | | (株)日立製作所 生産技術研究所第2部 主管研究員 |
広藤 裕一 | | 松下電器産業(株)半導体研究センター 超LSI技術研究所 主任技師 |
三由 裕一 | | 松下電器産業(株)半導体研究センター 超LSI技術研究所 |
泉 昭 | | 大日本スクリーン製造(株)第2開発部開発4課 係長 |
新納 礼二 | | 東京エレクトロン東北(株)開発部 副主幹技師 |
加藤 孝明 | | 東京エレクトロン東北(株)開発部 部長 |
辻 幹生 | | 日本電気(株)ULSIデバイス開発研究所 高集積技術開発部 主任 |