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POD書籍：オンデマンド出版(POD)
●半導体生産工場の地震・防災対策実務ハンドブック

コードNO0216P
発刊日 1996年8月26日
編集委員長
鈴木　秀明　（株）日立製作所 半導体事業部環境センタ
編集委員
吉見　武夫　（株）日立製作所 半導体事業部技術開発本部 副技師長
村井　信義　（株）竹中工務店 技術研究所生産研究開発部 主席研究員
金子　晃治　NSエンジニアリング（株）技術教育安全管理担当部長
価　格 POD（オンデマンド）価格　本体26,600円＋税
体　裁A4判　426頁
試　読 　不可　
ご注意 オンデマンド版（POD）は、以下の点で当社通常書籍と扱いが異なります。
  • オンデマンド（On Demand：要求があり次第に）という意味の通り、お客様からの注文に応じてその都度印刷・製本をする販売形式を取っています。 そのため、ご注文を受けてから発送までに1週間～10日前後のお時間をいただきます。
  • 受注生産のため、注文されてからのキャンセルはお受けできません。
  • 装丁は厚紙表紙のみの簡単なものになり、カバー等も付きません。
  • 【試読】および【お客様都合による返本】はお受けできません。
  • 書店経由ではなく弊社との直接のお取引（直販）となります 。書店割引はありません。
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  • 阪神大震災被災企業の実録にもとづく地震・防災対策の決定版
  • 現場当事者が語る被害実態と地震対策の要点を網羅
  • 本書は、地震対策に関する単なる集大成に重点を置いたこれまでのものとは異なり、半導体工場被災の実録にもとづく現場の被害の実態・記録とその対策を、最新知見・情報をもって生々しく分析・編集された唯一のものです。
  • 半導体工場の安全を願う本書の刊行に全面的にご協力いただいたデバイスメーカーおよび関連企業各社に編集委員会として深く謝意を表す次第です。

■ 主要構成

■第１篇　被害の実態と製造現場の地震・防災対策
第１章　半導体生産工場における地震被害の実態とその特徴
第２章　半導体工場建屋の地震・防災対策
第３章　ユーティリティ施設の地震・防災対策
第４章　半導体製造ラインの地震・防災対策
第５章　地震・防災に関する危機管理マニュアル
■第２篇　地震発生のメカニズムと工場立地の条件
第１章　地震発生のメカニズムと被害状況の想定
第２章　工場立地のための地盤条件と基礎構造
第３章　地震予知技術の現状と課題
■付属資料
半導体工場防災設備・機器の種類とその機能
地震・防災対策のための高圧ガス取締法（抄録）
半導体生産工場立地マップ（地域別）
【発刊にあたって】

　太陽系ができたのは46億年前であり、太陽の寿命としては100億年といわれております。現在の地球は原始地球から46億年経ており、その間地球での生命の進化が続けられ今日の社会が構成されております。 生命を育むには水が豊富にあることが重要な条件であります。また、気温の変化が少ないことも重要であります。
　最近、太平洋の下にはマントルの底から沸き上がる巨大な上昇流、またアジアの下にはマントルの底まで落ち込む巨大な下降流が発見されております。 さらにプレートは中央海嶺と呼ばれる海底火山で生まれ、海溝で別のプレートの下にもぐり込みます。地球の気温の安定化の理由の一つに、このプレートの浮き沈みで海水に溶解した炭酸ガスによる炭素の循環作用があります。 炭素循環が気温上昇を抑えているというものです。我々と地球との係わり合いをみますと、地球の大きなメカニズムの中で生かされていることを感じます。
　4つのプレートがせめぎ合っている日本は有数の地震国であり、阪神大震災の悲惨さは、今でも忘れられない出来事であります。地域の方々および各種生産事業所が被災されており、半導体製造メーカーも被害を受けました。
　このたび半導体製造業を中心とした「地震・防災対策実務ハンドブック」を編集いたしました。必ず大地震は来るとの考え方で、地震と正面から取り組み被害を最小に止めるための一助として、他の産業の方々にも広くご活用願えれば幸甚に存じます。

編集委員長　鈴木 秀明

内容目次

第１篇　被害の実態と製造現場の地震・防災対策

第１章　半導体生産工場における地震被害の実態とその特徴

第１節　三菱電機＜平山　誠＞
  1. 地震の概要
  2. 地震発生直後の状況
  3. 被害状況
  4. 復旧の問題点及び対策
  5. 地震対策の状況と効果
  6. 地域との協力
第２節　住友電工＜竹本　菊郎＞
  1. 地震の発生時間・状況、大きさ、場所、最大ガル
  2. 被害の状況
  3. 復旧の問題点及び対策
  4. 地震対策の状況と効果
  5. 地域との協力関係
第３節　日立製作所＜吉見　武夫＞
  1. 被害の実態
  2. 阪神大震災との被害実態比較
  3. クリーンルーム内の汚染
  4. 地震震度レベルと対応機能
  5. 急ぎ対策すること、気懸かりなこと
  6. 改善すべき点、気づいたこと
  7. 阪神大震災を省みて
第４節　東芝＜山本　眞一＞
  1. 最近の当社の地震経験
  2. 製造装置の地震対策
  3. 地震対策基準システムの紹介

第２章　半導体工場建屋の地震・防災対策

第１節　建物の耐震設計＜東端　泰夫＞
  1. RC、SRC造建物の特徴的な被害
  2. 鉄骨造建物の特徴的な被害
  3. 耐震診断結果と建物の被害程度
  4. 耐震改修促進法と耐震補強
第２節　免震構造設計＜相沢　覚＞
  1. 免震構造の理論
  2. 耐震・免震・制振構造
  3. 免震の効果
  4. 免震構造の利点
  5. 免震装置
  6. 積層ゴムの耐久性
  7. 免震建物計画上の留意点
  8. 免震構造設計
  9. 部分免震
  10. 参考：積層ゴム等の製作企業
第３節　非構造部材の耐震設計＜坪内　信朗＞
  1. 非構造部材と地震被害
  2. 各部位の構成材料および構法
  3. 半導体工場に用いられる非構造部材の耐震性
第４節　建築設備の耐震設計＜高橋　紀行＞
  1. 建築設備システムとしての耐震性
  2. 防災設備の耐震設計
  3. 一般設備の耐震設計

第３章　ユーティリティ施設の地震・防災対策

第１節　デバイスメーカーにおけるユーティリティ施設の地震・防災対策＜久保田　勲＞
  1. 建物及び外溝
  2. 建物付帯設備（内装）
  3. クリーンルーム
  4. 電機設備
  5. ガス設備
  6. 給・排水設備
  7. 空調・排気設備（冷熱源含む）
  8. 薬品供給設備
  9. 什器・備品類
第２節　ガス（貯蔵・供給設備）＜黒岩　誉／梅川　明彦＞
  1. 液化ガス貯槽設備
  2. カードル・ローダー・ガスホルダー
  3. 容器貯蔵所
  4. 配管
第３節　空調設備＜村上　三千博＞
  1. 空調設備の被害状況（概要）
  2. 耐震対策
  3. 空調設備の耐震診断
第４節　受電設備と非常電源＜豊田　武二＞
  1. 設備の概要
  2. 受電設備の対策
  3. 非常電源の対策
  4. 阪神・淡路大震災被害事例と対策
第５節　薬液処理施設＜樫原　稔＞
  1. 無機薬液供給設備
  2. 有機薬液供給設備
  3. 有機廃液回収設備

第４章　半導体製造ラインの地震・防災対策

第１節　デバイスメーカーの立場から（1）：半導体製造装置を中心に＜吉見　武夫＞
  1. 地震対策事項
  2. 製造ラインの地震防災マニュアル
第２節　デバイスメーカーの立場から（2）：半導体プロセス材料を中心に＜大島　次郎／間瀬　康一＞
  1. 材料プロセスガスにおける地震対策
  2. 化学物資（薬品）関係
  3. 防災システム
第３節　ステッパメーカーの立場から＜高橋　一雄＞
  1. 露光装置の地震・防災に対する暗黒時代
  2. 露光装置の地震・防災対策の夜明け
  3. 露光装置における「相反する要求」とは？
  4. 露光装置の性能保証のための防振対策
  5. 露光装置の防災対策（その1）
  6. 露光装置の防災対策（その2）
第４節　洗浄装置メーカーの立場から＜児玉　俊作＞
  1. 洗浄装置に利用するユーティリティー
  2. 地震時の危険部とその対策
  3. 今後の課題
第５節　特殊材料ガスメーカーの立場から＜星　朝秋／金子　晃治＞
  1. ガス供給設備の被害及び対策
  2. 緊急遮断及び緊急時の対応について
第６節　クリーンルームの復旧対策＜平山　誠／久保田　勲＞
  1. 地震発生直後の行動と対策
  2. 復旧対策工事
  3. クリーンルームの復旧対策
  4. 地震に対する防災対策の考え方

第５章　地震・防災に関する危機管理マニュアル

第１節　地震・防災に対する企業の危機管理対策＜熊谷　文憲＞
  1. 「危機管理」対策に関する阪神・淡路大震災の教訓
  2. 今後の地震対策の全体構造
  3. 地震対策の具体的な展開
第２節　防災・復旧対応組織とその活動方法＜鈴木　秀明＞
  1. 阪神大震災後の地震対策マニュアル改定内容
  2. 企業の地震対策について
  3. 防災強化のための地震速報体制の現況
  4. 新聞に見る阪神大震災の提言から
  5. 阪神大震災後に改定された企業の地震対策マニュアル（労政時報3235号）
第３節　危機管理としての震災対策の進め方＜鈴木　秀明＞
  1. 震災対策のポイント
  2. 企業における防災対策の在り方

第２篇　地震発生のメカニズムと工場立地の条件

第１章　地震発生のメカニズムと被害状況の想定（強震動の想定）

はじめに

第１節　地震発生のメカニズム＜入倉　孝次郎＞
  1. 断層運動により生成される地震動
  2. 震源のモデル化
  3. シナリオ地震
第２節　経験的グリーン関数法による強震動の予測＜入倉　孝次郎＞
  1. 合成方法
  2. 強震動の合成
  3. 強震動予測の実用化における問題点
第３節　阪神大震災を引き起こした強震動＜入倉　孝次郎＞
  1. 震源断層と強震動
  2. 震災の帯の生成原因
  3. 震度7地域での強震動の再現

第２章　工場立地のための地盤条件と基礎構造

第１節　地盤条件＜加倉井　正昭＞
  1. 地盤調査のポイント
  2. 地盤種別での基礎設計のポイント
第２節　基礎構造の設計のキイポイント＜加倉井　正昭＞
  1. 地盤沈下に対する対応
  2. 液状化に対する対応
第３節　阪神大震災での地盤および基礎の被害と教訓＜加倉井　正昭＞
  1. 液状化
  2. 埋立地盤における基礎
  3. 地盤改良と基礎設計の提言

第３章　地震予知技術の現状と課題

第１節　地震予知の方法＜大竹　政和＞
  1. 地震予知とは何か
  2. 地震先行現象
  3. 地震先行現象の性質と地震予知の戦略
  4. 地震前兆現象の発生メカニズム
第２節　地震予知の体制＜大竹　政和＞
  1. 地震予知への歩み
  2. 地震予知計画とその体制
  3. 想定東海地震とその予知体制
  4. 諸外国の地震予知への取り組み
第３節　今後の課題と展望＜大竹　政和＞
  1. 地震予知計画の成果と問題点
  2. 地震発生の理論
  3. 地震発生ポテンシャルの定量的評価
  4. 基盤的観測の体制と予知研究

付属資料

（１） 半導体工場防災設備・機器の種類とその機能

クリーンルームの初期火災検出
  • 能美防災株式会社
特殊材料ガスの緊急遮断
  1. 日本酸素株式会社
  2. トキコ株式会社
  3. 株式会社ネリキ
塔槽類のバルブによる緊急遮断
  • トキコ株式会社
地震計
  1. 株式会社アカシ
  2. IMV株式会社
  3. 株式会社東京測振
ガス検知器
  1. 日本酸素株式会社
  2. 理研計器株式会社
  3. 新コスモス電機株式会社
免震装置
  1. トキコ株式会社
  2. オイレス工業株式会社
  3. 株式会社ブリヂストン
（２） 地震・防災対策のための高圧ガス取締法（抄録）＜坂根　誠＞

（３） 半導体生産工場立地マップ

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執筆者一覧（執筆順・敬称略、肩書等は発刊時のものです。）

■執筆者一覧
平山　誠　三菱電機（株）ULSI開発研究所LSIプロセス開発第一部部長
竹本　菊郎　住友電気工業（株）半導体事業部製造部第2半導体工場工場長
吉見　武夫　（株）日立製作所半導体事業部技術開発本部副技師長
山本　眞一　（株）東芝半導体生産技術センター企画担当グループリーダー
東端　泰夫　（株）竹中工務店技術研究所生産研究開発部主席研究員
相沢　覚　（株）竹中工務店技術研究所基礎研究部主任研究員
坪内　信朗　（株）竹中工務店技術研究所生産研究開発部構工法グループ主任研究員
高橋　紀行　（株）竹中工務店技術研究所応用研究開発部主任研究員
久保田　勲　三菱電機（株）半導体基盤技術統括部生産技術部工場施設技術課課長
黒岩　誉　日本酸素（株）電子機材事業本部機器事業部機器技術部主事
梅川　明彦　日本酸素（株）電子機材事業本部大阪支社大阪電子機材部部長
村上　三千博　高砂熱学工業（株）技術本部技術開発部参事
豊田　武二　日立プラント建設（株）空調プラント事業本部主任技師
樫原　稔　日立プラント建設（株）設備事業部東部統括部設計部副技師長
大島　次郎　岩手東芝エレクトロニクス（株）プロセス生産技術部ウエハプロセス技術第2担当課長
間瀬　康一　（株）東芝半導体生産技術推進センター半導体プロセス第一部プロセス技術第五担当主務
高橋　一雄　キヤノン（株）光学機器事業本部半導体機器第1開発部主席研究員
児玉　俊作　大日本スクリーン製造（株）電子機器事業本部野洲製造部技術二課長
星　朝秋　日本酸素（株）電子機材事業本部機器事業部機器技術部エンジ統括グループチーフ
金子　晃治　NSエンジニアリング（株）技術教育・安全管理担当部長
熊谷　文憲　富士ゼロックス（株）副社長付方針管理グループ担当部長
鈴木　秀明　（株）日立製作所半導体事業部環境センタ
入倉　孝次郎　京都大学防災研究所地震動部門教授
加倉井　正昭　（株）竹中工務店技術研究所生産研究開発部主席研究員
大竹　政和　東北大学大学院理学研究科地球物理学専攻教授
坂根　誠　日本酸素（株）電子機材事業本部機器事業部機器技術部エンジ統括グループ
　
●資料協力
能美防災（株）／日本酸素（株）／トキコ（株）／（株）ネリキ／（株）アカシ／IMV（株）／（株）東京測振／理研計器（株）／新コスモス電機（株）／オイレス工業（株）／（株）ブリヂストン

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